Profilm3D白光干涉轮廓仪

低成本-高精度

Filmetrics的 Profilm3D/Profilm3D-200让3D光学轮廓测量的价格变得更加能够接受。Profilm3D使用最先进的垂直干涉扫描(WLI)与高精度的相位干涉(PSI)技术。以前所未有的价格实现次纳米级的表面形貌研究。

标准配置

1、自动XY移动平台

2、100mmx100mm移动范围 (Profilm3D)

3、200mmx200mm移动范围(Profilm3D-200)

4、100mm自动聚焦范围

5、4孔物镜转台

6、+/-5°水平可调样品台

7、业界领先的500um压电陶瓷行程

8、业界领先的10倍物镜下2mm视场范围

参数: Profilm3D

XY样品台移动范围:100mm x 100mm

样品最大宽度:265mm

设备尺寸:WxDxH:305mm x305mmx550mm

设备重量:15kg

参数: Profilm3D-200

XY样品台移动范围:200mm x 200mm

样品最大宽度:365mm

设备尺寸，WxDXH:406mm x 406mmx550mm

设备重量:22kg