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透明晶圆缺陷扫描Lumina AT2-EFEM

300毫米晶圆自动扫描

透明晶圆缺陷扫描Lumina AT2

3分钟内完成300毫米晶圆的扫描

透明晶圆缺陷扫描Lumina AT1

4分钟内完成150毫米晶圆的扫描

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